氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過(guò)空氣分離設(shè)備制造的普通級(jí)的氧氣和氮?dú)狻⒔?jīng)過(guò)焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來(lái)的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對(duì)純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。包裝標(biāo)志:有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時(shí),由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無(wú) 水,管路、閥門和容器不用時(shí)應(yīng)密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離






特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過(guò)程中使用到一些化學(xué)氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存高壓氣體≥300m,液化氣≥3000kgs時(shí),儲(chǔ)存場(chǎng)所需要經(jīng)過(guò)縣級(jí)以上相關(guān)單位批準(zhǔn)。高壓容器儲(chǔ)存場(chǎng)所出入口及顯眼處,需設(shè)有安全警示牌。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。

滅菌特種氣體由于它的活潑型,殺菌力強(qiáng)、殺菌譜廣,對(duì)物品損害輕微等優(yōu)點(diǎn),已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一,特種氣體分類:電子氣體是指用于半 導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,目前,我國(guó)電子氣體品種基本齊全,但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達(dá)國(guó)家相比,尚有較大差距;電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。

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